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第130章 全世界的惊涛骇浪——他们究竟是怎么做到的!(3/3)

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最后不得不无奈接受了这个现实,大为感慨的说道:“他们究竟是什么做到的?”

……

“他们是怎么做到的?”专业人士再问,台积电的工程师们更是为此抓狂。

虽然有了林志豪的预防针,他们对拜仁的7nm工艺的优秀程度有一定的心里准备,但是此刻,看到这些数据的他们还是没法平静的面对。

林志豪自己的心里也是惊涛骇浪一般,在现场,他就估算了拜仁微电子7nm制程工艺的一些数据情况,但现实比他估算的还要好,而且好的多。

“你们看着芯片微观切面图,”林志豪说道:“你们觉得误差有多少?”

“光的波长越长,衍射效应是越明显的,在光刻的过程当中,图像的边界就会越来越模糊,如果不进行修正,193nm的深紫外光,是无法制造7nm的。”

林志豪接着说道:

“我们自己的一代7nm制程工艺采用了非常先进的曝光修正算法,大大的提高了良品率。但是,你们看到了没,拜仁的整个微观切面,这图像边界有一点点不清晰吗?”

“难不成,他们还能做到百分之百的修正?”立即就有人置疑道。

“我不知道,原始的设计是怎么样的我们看不到,也不清楚。”林志豪接着说道:“我们能看到的就只有这个图,别的我不敢保证,仅仅从这个图来看,边界几乎可以认为是百分之百。”

林志豪这么一说,原本就非常不淡定的台积电工程师们就更加的不淡定了:几乎百分之百,啥意思?

任何的机器都不可避免的会有系统误差和测量误差,几乎百分之百,那实际就是百分之百!

“这也是我之前我为什么说拜仁有能力利用DUV制造5nm的关键之所在。”林志豪接着说道:“不能以常理衡量他们啊!”

林志豪说这话的时候,心里也是十分不解,也在感慨着:他们就究竟是怎么做到的啊!就凭那个系统内多偏差相互作用修正的全新工艺?

林志豪想不明白:

按道理,台积电当初利用深紫外DUV量产7nm时的曝光补偿和修正算法已经极为先进了,但也完全没法做到拜仁这样几乎完美的修正效果!

这简直就是一件不可思议的事情,难道他们这个所谓的全新工艺还能让光的衍射现象消失不成?

即便那样也不对啊,热膨胀也还是会造成图像显影误差。

林志豪昨天想了一夜,也没想出来个所以然来。

至于用误差消弭误差,最终达到没有误差的效果,林志豪不是没想过,但这也根本不可能啊!

这对控制系统的精密性要求太高了,阿斯麦现在最先进的光刻机由某国提供的控制系统都做不到,就更不用说大陆资产的落后光刻机了。

“他们究竟是怎么做到的?!”林志豪摇了摇头脑袋,再一次的发出这样的感慨。

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